1. 国家自然科学基金面上项目(22078091),“原子层沉积膜制备过程的多尺度传递反应耦合机理研究”,2021-2024(主持)
2. 国家自然科学基金青年项目(21706066),“中空纤维膜组件流动分布机理研究”,2018-2020(主持)
3. 上海市浦江人才计划(22PJD016),“具有纳米深孔的12英寸晶圆的原子层沉积多尺度过程研究”,2022-2024(主持)
4. 企业委托项目,“ALD真空反应器优化与工艺开发”,2021-2022(主持)
5. 企业委托项目,“基于过程强化模拟与实验的反应器开发”,2018-2020(主持)
6. 美国能源部项目(DE-SC-0021212),“Permeation Properties of Disordered Metal-Organic Framework Membranes Made by Vapor Phase Ligand Treatment”,2020-2023(负责ALD反应器与多尺度过程模拟技术开发)
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